アクティブ微小振動制御システム TSシリーズTS（卓上型）

写真：TS-150

卓上型「アクティブ微小振動制御システムTSシリーズ」は、設置後すぐに使える、先進フルオートコントロールシステムを搭載し、業界最薄型を実現しました。21世紀のナノテクノロジーを支える防振基盤技術として、今日の技術開発と測定評価および未知の科学技術の創造と発展に貢献します。多彩なラインアップを取り揃えていますので、搭載物の大きさなど目的に合わせて4種類の中から最適なものをお選びいただけます。

卓上型アクティブ微小振動制御システムの特徴

小型を実現
TSシリーズは、薄型防振システムです。先端的防振技術を小さな空間にまとめ上げました。使用目的に応じて、デスク型架台に組み込んだり、測定や加工システムに組み入れて使用できます。機器は0～230kgまで搭載できます。

軽量を実現
TSシリーズのシステム重量は、約18kgから約60kgです。簡単にどこへでも移動し、設置できます。

高機能を実現
機器を搭載した後の初めの高さ調整は自動的に行います。したがって、偏荷重のある機器も一定の高さを保った状態で使用できます。機器の重心位置が高いとハンチングを起こしやすい空気ばね式（同じ寸法の場合）と違い、コイルばねを使用していますので、重心位置の高い機器等も搭載できます。
本システムを移動するときは、本体前面のコントロールパネルのボタンを軽くタッチするだけでシステム全体を自動的にロック状態にします。システムの移動時にの故障を防ぎます。
前面メニューディスプレイで垂直・水平XY方向の防振状態を確認することができます。また、本体背面のBNCコネクターからお手持ちのオシロスコープにつなぎ、加速度計の信号を観察できます。
外部遠隔スイッチで防振のON・OFFができます。（別売品）

高い防振性能
TSシリーズは、0.7Hzから100Hzまで広い周波数範囲の垂直・水平2方向およびそれぞれの回転方向において、アクティブに振動制御を行います。

TS-150防振効果の例

ニワトリ卵白リゾチームの原子間力顕微鏡像」
この画像はTS-150を使用したAFM画像です。

・20x20μm2（左側）　・8x8μm2（右側）

画像ご提供:大阪大学佐々木孝友教授殿、ならびに森田清三教授殿

TS-150防振性能の例

アクティブ制御スイッチOFF　振動の影響あり（左側）　・アクティブ制御スイッチON　振動の影響なし（右側）

TS-300にZYGO社製NewView5000シリーズ3次元表面構造解析顕微鏡を搭載しました。振動制御SWがoffのときの画像は振動の影響を受けて太い斜め線が入ってしまいます。（左側）
SWをONにしたときは振動の影響をまったく受けません。（右側）

測定ご協力:キヤノンマーケティングジャパン株式会社殿

TSシリーズの搭載盤タップ加工

左の写真は、タップM6・25mmXYマトリックスに加工を施した搭載盤を装着したTS-150です。搭載盤は、着磁性ステンレス鋼板とアルミニュウム板を接着した複合搭載盤です。TSシリーズ4機種についてタップ付き搭載盤を用意しています。お客様のご希望により、ご指定位置にタップ加工をいたします。ただし、タップの大きさによって、ご希望に添えない場合があります。　なお、面精度をご希望の場合は別途ご相談ください。

卓上型アクティブ微小振動制御システムの仕様

形　　　式	TS-140	TS-150	TS-300LT	TS-300
価格（税別・送料別）	￥1,500,000	￥1,360,000	￥1,760,000	￥2,180,000
システム形状	コントローラ・防振ユニット一体型
アクティブ制御範囲	約0.7Hz～100Hz（100Hz以上はパッシブ防振）
使用環境の調整	ゲイン及びオフセットは自動調整
初期水平調整	自動調整
移動時のロック	自動ロック機構
防振状態の確認	本体モニタに表示及び背面のBNCコネクタ利用し外部接続
機器搭載盤面積	500×600mm	400×450mm	600×800mm
システム寸法(約)	500×600×84Hmm	400×450×78Hmm	600×800×121Hmm
搭載可能重量	100kg（均等)		90kg（均等)	230kg（均等)
システム重量	約29kg	約18kg	約53kg	約53kg
供給電源電圧	90-120V AC / 200 - 240V AC　47-63Hz
電力消費量	通常10W、最大20W
使用温度範囲	5℃～40℃
使用湿度範囲	10～90%（5～30℃）・10～60%（30～40℃）
使用場所	屋内
使用高度	2000mまで
搭載盤有償オプション	材質：着磁性ステンレス（SUS430）※無塗装梨子地仕上加工：タップ加工M6-25mmマトリクス　タップ深さは6mm ※型式末尾に"/TP25"が付きます。
別売品(1)	アクティブ防振　ON・OFF遠隔スイッチ
別売品(2)	ハイダンピング高剛性専用架台　（別途、外観寸法図ご参照）
別売品(3)	エキサイターボックス　※市販のファンクションジェネレータと合わせてTSを加振器として使用ができます。

※本アクティブ微小振動制御システムTSは、性能および機能の改善向上のために予告なく、記載の仕様を変更することがありますのでご承知ください。
※本アクティブ微小振動制御システムTSを生産ラインに組み込むような使用は推奨致しません。

図面ダウンロード

TS-140	TS-140.lzh	TS-140.pdf	h-L-TS-140	h-L-TS-140.lzh	h-L-TS-140.pdf
TS-150	TS-150.lzh	TS-150.pdf	h-L-TS-150	h-L-TS-150.lzh	h-L-TS-150.pdf
TS-300LT	TS-300LT.lzh	TS-300LT.pdf	h-L-TS-300	h-L-TS-300.lzh	h-L-TS-300.pdf
TS-300	TS-300.lzh	TS-300.pdf

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カタログダウンロード

アクティブ微小振動制御システム TS(カタログダウンロード）	01-1_TS.pdf
Download the product catalog of of TS series	01-2_TS-150-E.pdf

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