定盤の選択方法

ハニカムベンチ・定盤

機器搭載用ハニカムベンチや各種の定盤は、研究や実験または検査評価など搭載する機器の使用目的に適したベンチを使用することが最も望ましい使い方です。ヘルツは次のようにハニカムベンチや定盤を分類しています。

ナノテクノロジー時代のハニカムベンチ・石定盤・鋳鉄定盤の選択

ナノテクノロジー時代の空気ばね式防振台の選択は、搭載機器の測定分解能・構造・測定方法・防振台の設置環境等によって、ハイダンピングハニカムベンチや石定盤や鋳鉄定盤を選択する必要があります。基本的な選択方法は

1. ハニカムベンチ
防振テーブルを設置する実験室の床に耐荷重制限があり、制限を越えてしまう場合。
軽量かつ高剛性でベンチ全体を非磁性にしたい場合。標準として、アルミハニカムコアとスチールハニカムコアが使用されます。搭載機器の特性に応じて、非磁性ステンレスコアの製作も致します。
2. 石定盤
搭載機器を使用する上で面精度が求められる場合。
3. 鋳鉄定盤
定盤面の精度が必要とされ、かつ大きな作業スペースを必要とする場合、などがあります。

構造材別モーダル解析の一例

(1)解析モデル（二次元）アルミハニカムベンチ　1500×1500×200t　材質:上面 SUS430　下面　SPHC
(2)解析モデル（二次元）スチールハニカムベンチ　1500×1500×200t　材質:上面 SUS430　下面　SPHC
(3)解析モデル　石定盤　1500×1500×200t　材質:インディアンブラック
(4)解析モデル　鋳鉄定盤　1500×1500×200t　材質:FC250

解析の必要性

ハイダンピングスチールハニカムベンチと標準スチールハニカムベンチの解析比較の例
スチールハニカムベンチの周波数応答解析とコンプライアンス実測定データの例

防振台の設計段階において搭載機器が求められるベンチの剛性、特に特定周波数の共振現象に留意しなければならないときに、モーダル解析や周波数応答解析や静的解析を使って必要な設計技術を導きます。また、防振台設置後に周囲の機械設備の変更により、振動状況性に変化がおこり、従来の防振性能が得られなくなった場合など、対策を講ずるためにも解析技術は必要な要素となります。