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卓上型空気ばね式防振台 DTシリーズ
高性能卓上型空気ばね式防振台 3DTシリーズDT,3DT

写真:3DT-6050M

高性能卓上型三次元空気ばね式防振台 3DT
卓上型空気ばね式防振台 DT

DT型卓上型空気ばね式防振台は、20数年におよぶ技術蓄積を基にしてナノテクノロジー対応型として開発いたしました。従来型のDT型卓上型空気ばね式防振台に加えて、垂直方向の精密空気ばねと融合する水平方向360度自由防振機構を設けた3DT型を開発しました。さらに空気ばね式防振台本体を支えるインシュレータ(脚部)にいたるまでモーダル解析や機器搭載盤のコンプライアンステストを行うなど、ナノテクノロジー時代に相応しい、もっとも信頼性の高い卓上型空気ばね式防振台を提供いたします。

卓上型空気ばね式防振台の特徴

3DT型搭載盤の制振処理
3DT卓上型空気ばね式防振台は、「ハイダンピング超高性能三次元空気ばね式防振台」の関連制振技術を利用し、機器搭載盤や本体枠のハイダンピング処理も標準仕様になっています。また、本体を支える脚部は高剛性インシュレータを採用しています。

水平維持
3DT-A型およびDT-A型は、外部空気源(エアーコンプレッサー・窒素ガスボンベ・工場エアー)からエアーの供給を受け、メカニカルオートレベルセンサ(3ケ)の働きで、搭載盤の水平を維持します。
DT-M型は、標準付属品のハンドエアーポンプを用いて、搭載盤に機器を搭載したのちに、3ケの給排気弁を用いてエアーを入れて簡単に搭載盤を最適な高さまで浮上させることができます。搭載盤の水平出しは、機器を搭載したのちに 3ケの給排気弁を利用してエアーの給排気を行います。外部空気源を必要としないために簡便に最良の測定環境を得ることができます。

防振性能
水平方向防振機構を装着した卓上型三次元空気ばね式防振台[3DT]は、3次元の防振機能を備えています。水平方向の固有振動数は1.0~2.0Hzとシンプルな形状である構造体としては画期的な防振性能を持っています。建物内の一般的な床振動は数Hz~50Hz程度の振動が多く、これらの周波数領域に対して十分な防振効果を得ることができます。


3DT-5548M & DT-5548M 振動伝達率

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3DT-6050M & DT-6050M 振動伝達率

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使用例

ZYGO社製PTIを搭載した3DT-5548A高性能卓上型三次元空気ばね式防振台

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写真ご提供:キヤノンマーケティングジャパン株式会社殿

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DT-8060A-B 普通銅板研磨、黒色塗装仕上
(Bタイプ搭載盤)
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DT-8060M-E 着磁性ステンレス+アルミニュウム板、M6
25mmXY加工(Eタイプ搭載盤)

 

卓上型空気ばね式防振台 DT,3DTの仕様

形式

全80種類

DT-4048M-A~E DT-5548M-A~E DT-6050M-A~E DT-8060M-A~E
3DT-4048M-A~E 3DT-5548M-A~E 3DT-6050M-A~E 3DT-8060M-A~E
DT-4048A-A~E DT-5548A-A~E DT-6050A-A~E DT-8060A-A~E
3DT-4048A-A~E 3DT-5548A-A~E 3DT-6050A-A~E 3DT-8060A-A~E
防振方式 HERZ精密空気ばね
固有振動数(垂直) 1.5~3.0Hz
固有振動数(水平) 1.0~2.0Hz ※ 3DTタイプのみ
エアー供給方式 A型:エアーコンプレッサー・工場エアー等
M型:手動式エアーポンプ
水平維持方式 A型:メカニカルオートレベルセンサ3ケによる自動調整
M型:エアー給排気弁3ヶの手動調整

搭載盤

  搭載盤の種類をご指定下さい。

A.ロンリュウム貼り
B.普通鋼板黒色塗装仕上
C.着磁性ステンレス鋼板+アルミニュウム板
D.搭載盤CにタップM6 50mmXY加工
E.搭載盤CにM6 25mmXY加工
搭載可能重量 ※( )内は3DTタイプ 40kg (30㎏) 40kg (30㎏) 100kg (70㎏) 100kg (60㎏)
本体脚部 DT:ゴム製 3DT:高剛性インシュレータ
付属品 A型:空気源接続エアーチューブ3m 1本 取扱説明書 1部
M型:ハンドポンプ 1本 給排気弁締め付けドライバー 1本 取扱説明書 1部
※A型には別途空気源が必要です。 エアーコンプレッサー・窒素ガスボンベ・工場エアー各空気源ともに圧力は0.2~最大0.3MPaが必要です。
当社では、サイレントエアーコンプレッサーの販売をしています。防振台ご下命時に合わせてご用命ください。
※性能・機能向上にともない、予告なく変更いたしますのでご了承ください。

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